SmarAct SLS直线纳米位移台

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

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SLS系列直线纳米位移台

SmarAct SLS series

SLS-32系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
SLS-3232 21 mm  32 x 32 x11 mm3 32 g
SLS-3252 31 mm 32 x 52 x 11 mm3 54 g
SLS-3282 51 mm 32 x 82 x 11 mm3 87 g
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:2kg
  • Z向使用举力>1.5N, >3.5N(恒力弹簧选项)

SLS-52系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
SLS-5252 31 mm 52 x 52 x 14 mm3 90 g
SLS-5282 51 mm 52 x 82 x 14 mm3 140 g
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:2kg
  • Z向使用举力>1N, 5N(恒力弹簧选项)

SLS-92系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
SLS-9292 63 mm 92 x 92 x 17 mm3 339 g
SLS-92152 103 mm 92 x 152 x 17 mm3 558 g
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:2kg

其他参数及选项

  • 开环控制
    • 速度>20mm/s
    • 分辨率<1nm
  • 闭环控制
    • 分辨率(MCS2控制器):1nm(-S), 4nm(-L)
    • 双向全行程重复精度(MCS2控制器):±50nm(-S), ±100nm(-L)
    • 分辨率(SCU控制器):4nm(-L)
    • 全行程重复精度(SCU控制器):±1000nm(-L)
  • 材质选项:标准铝座材质,钢座材质(-ST),钛座材质(-TI),阳极发黑(-BK)
  • 真空兼容性:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
  • 无磁选项:-NM