SmarAct SLL直线纳米位移台

德国Smaract公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

SLL系列滑块式直线纳米位移台

型号 导轨长度 尺寸 精度
SLL12 70-475 mm 33.8 x 27 x 13 mm3 1 nm
SLLA42 70-1480 mm 54 x 60 x 13 mm3 1 nm
SLLV42 70-1480 mm 54 x 60 x 13 mm3 1 nm

其他参数及选项

  • 开环步进:50-3000nm, 50-1500nm(SLL12)
  • 压电扫描范围:3μm, 1.5μm(SLL12)
  • 压电扫描精度<1nm
  • 速度>20mm/s
  • 阻塞力≥5N, ≥3N(SLL12)
  • 垂直负载:3kg
  • 可选闭环驱动器及分辨率
    • -M: 100nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
    • -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
  • 可选限位支架
  • 高真空和超高真空选项:-HV(10-6 mbar),除SLLA42.
产品特点
  • 亚纳米级高精度兼具大行程
  • 灵活组维,可做复杂系统定制
  • 小体积,大负载
  • 移动速度nm/s-cm/s
  • 可选真空(10-6 mbar)和超高真空(10-11 mbar)兼容
  • 可选用非磁性材料,
  • 可选超低温环境兼容
  • 高性能导轨,可选超长寿命
  • 断电可纳米级锁定
  • 低热漂移&高共振频率
  • 可选低振动模式适用于原子力显微等场景
应用领域
• 光学研究: 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节
• 扫描电镜/光学/原子力显微镜:样品、探测器/光源定位、样品操作
• 自动化控制:低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成
• 材料应用:缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量
• 天文、航天航空: 高加速度、低压、低温条件下控制
• 度量衡学:长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量
• 生命科学:细胞操作、膜片钳、计数&分选