德国SmarAct公司，专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术，强大的激光干涉仪检测技术，可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统，广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
DLS系列直线纳米位移台-混合驱动技术
DLS-32系列直线纳米位移台
| 型号 | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| DLS-3232 | 21 mm | 32 x 32 x12 mm3 | 50 g |
- 压电扫描范围>10μm
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直负载：500g
- Z向使用举力>1.5N
- 无负载振荡频率>700Hz
- 扫描截止频率>35Hz
DLS-52系列直线纳米位移台
| 型号 | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| DLS-5252 | 30 mm | 52 x 52 x 15 mm3 | 150 g |
- 压电扫描范围>35μm
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直负载：500g
- Z向使用举力>1.5N
- 无负载振荡频率>350Hz
- 扫描截止频率>10Hz
其他参数及选项
- 闭环控制
- 速度>20mm/s
- 分辨率(MCS2控制器)：1nm(-S)
- 材质选项：标准钛座材质，铝座材质(-AL)
- 真空兼容性：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 无磁选项：-NM
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