德国SmarAct公司，专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术，强大的激光干涉仪检测技术，可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统，广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
SHL系列升降式直线纳米位移台
| 型号 | 行程 | 最大举力 | 精度 |
| SHL-1D20N-10 | 10 mm | 20 N | 1 nm |
| SHL-1D80N-1 | 1 mm | 80 N | 1 nm |
| SHL-3D5N-1 | 10 mm | 5 N | 1 nm |
其他参数及选项
- 开环步进：50-3000nm, 50-1500nm(SLL12)
- 压电扫描范围：0.5μm
- 压电扫描精度<1nm
- 速度>9mm/s
- 可选闭环驱动器及分辨率
- -L: 4nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
- -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
- 氧化发黑选项：-BK
- 高真空和超高真空选项：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
| 产品特点 | |
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| 应用领域 | |
| • 光学研究： 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节 • 扫描电镜/光学/原子力显微镜：样品、探测器/光源定位、样品操作 • 自动化控制：低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成 • 材料应用：缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量 • 天文、航天航空： 高加速度、低压、低温条件下控制 • 度量衡学：长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量 • 生命科学：细胞操作、膜片钳、计数&分选 |
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